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先進材料制備與微納加工平臺

  先進材料制備與微納加工平臺是合肥微尺度物質科學國家研究中心的主要公共支撐平臺之一,參照國外同類型先進公共實驗室進行設計和建設,已先后投入3500萬基建改造費和1億元設備購置費進行超凈室實驗場地和裝備的建設。


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  平臺目前已建成高等級潔凈室1200余平方(其中百級潔凈室500平方,千級潔凈室500平方,10萬級表征測試潔凈室200平方),潔凈室各項主要硬件環境指標達世界一流,國內領先的標準:潔凈室內防微振技術指標按照NIST-A標準建設,在振動隔離難度極高的低頻振動隔離方面遠高于一般半導體廠的VC-D、VC-E標準;潔凈室內的環境溫度控制指標最高可達到小于±0.1/h溫度漂移的超高精度要求;實驗室供電采用雙路供電+UPS+柴油發電機的高可靠性供電;集中供應幾十種特殊工藝氣體、配備完善的特氣偵測和安全系統;集中供應18.2MΩ的超純水、PCW、9N超純氮氣、CDA、PV、HV等,廠務配套設施全面、先進、標準、完善。


  平臺目前已配備各類微納加工和表征測試設備70余臺套,正在運行一條相對完整的微納米加工工藝線,涵蓋了圖形發生、薄膜制備、材料刻蝕、鍵合封裝、表征測試等常見的工藝段,可以進行常見微納米結構和器件的加工,極限線寬達到10納米,材料種類包括硅基、碳基、金屬、聚合物、化合物半導體、二維納米等多種類型材料,可以有力支撐多學科領域的微納米器件加工以及微納米結構的表征測試需求,設備總值超過1億元,整體設備工藝能力達到國內外先進微納加工的水平。


  平臺現有專職支撐隊伍共25人,技術支撐隊伍規模適中,技術精湛,分工合理。依托高水平的專職支撐團隊,平臺不僅為研究中心了提供強有力的科研支撐,同時也是學??蒲械闹匾瘟α?。平臺目前已有正式注冊用戶1000余人,涵蓋學校物理、化學、材料、工程、核科學、信息、生命及地球空間科學等主要學科,支撐著250多個課題組的200余項科研項目。與此同時,平臺立足長三角、輻射全國,還為校外180余家高校、科研院所及央企、上市公司等提供了加工、檢測和技術咨詢服務,有力地支持了兄弟院校的科研及地方經濟建設。


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